經濟部產業發展署產業節能減碳資訊網

針對電子業2030年減碳路徑，在三大面向中將以現有成熟的技術擴大導入。製程改善方面將優先導入ISO50001能源管理系統及建構智慧化能源系統、含氟氣體削減為主，如使用高解離率氣體以減少製程氣體排放量，以及安裝尾氣破壞處理設備進行排放減量；能源轉換方面則會持續鼓勵企業加入RE100；循環經濟方面，將透過現有的技術使廢棄物循環再利用，降低碳排放量，如晶圓廠製程之廢液、廢水經處理/回收系統將廢棄物適當提煉濃縮後，再進入廠內資源再生系統產出不同之應用產品(如冰晶石、銅棒、鈷棒、固態硫酸銨、工業級硫酸/磷酸)，來做為其他工業之原料使用。